একটি ULPA ফিল্টার কি? এটি কীভাবে HEPA থেকে আলাদা এবং এটি আসলে কোথায়

একটি ULPA ফিল্টার হল একটি অতি-লো পেনিট্রেশন এয়ার ফিল্টার যা EN 1822 গ্রুপ U-এর অধীনে শ্রেণীবদ্ধ। শ্রেণি সীমা হল:

•U15: অবিচ্ছেদ্য দক্ষতা 99.9995% এর চেয়ে বেশি বা সমান

•U16: অবিচ্ছেদ্য দক্ষতা 99.99995% এর চেয়ে বেশি বা সমান

•U17: অবিচ্ছেদ্য দক্ষতা 99.999995% এর চেয়ে বেশি বা সমান

এটি আনুষ্ঠানিক শ্রেণীবিভাগের দিক। বাজারে, আপনি 0.1–0.2 μm বা প্রায় 0.12 μm-এ 99.9995% হিসাবে বর্ণিত ULPA পণ্যগুলিও দেখতে পাবেন, বিশেষত ইলেকট্রনিক্সের উদ্দেশ্যে ক্লিনরুম প্যানেল পণ্যগুলিতে। উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর ব্যবহারের জন্য একটি কম-বোরন ULPA পণ্য 99.9995% @ 0.1–0.2 μm এ প্রকাশিত হয়েছে, এবং অনেক তুলনা গাইড ULPA আলোচনার জন্য ব্যবহারিক রেফারেন্স আকার হিসাবে 0.12 μm ব্যবহার করে।

যখন ক্রেতারা U15 ফিল্টার দক্ষতা সম্পর্কে জিজ্ঞাসা করে, তারা সাধারণত সংক্ষিপ্ত সংস্করণটি চায়:

•U15 হল এন্ট্রি ULPA ক্লাস

• EN 1822 এর অধীনে, এটি 99.9995% অবিচ্ছেদ্য দক্ষতায় রেট করা হয়েছে

• পণ্য সাহিত্যে, এটি প্রায়শই 0.1-0.2 μm কর্মক্ষমতা বর্ণনা করা হয়

• এটি পরিস্রাবণ দক্ষতায় H14-এর উপরে এবং প্রাথমিক প্রতিরোধ ও খরচের ক্ষেত্রে সাধারণত H14-এর উপরে থাকে

আমাদের প্রকৌশলীরা প্রায়ই দেখেন ক্রেতারা তিনটি ভিন্ন সিস্টেম মিশ্রিত করে:

•ISO 16890 / সাধারণ বায়ুচলাচল ফিল্টারের জন্য উত্তরাধিকার EN 779

• EPA, HEPA, এবং ULPA-এর জন্য EN 1822 / ISO 29463৷

•ক্ষেত্রের পদ যেমন "মেডিকেল HEPA" বা "ক্লিনরুম ULPA"

তুলনা করবেন না aG4, MERV 8, বা ePM1 ফিল্টারথেকে aU15 প্যানেলযেন তারা একই সিদ্ধান্ত গাছের অন্তর্গত। তারা না. ULPA বাজারের সম্পূর্ণ-ফিল্টার সাইডের অন্তর্গত

মৌলিক দক্ষতা ব্যবধান রাষ্ট্র সহজ. কঠিন অংশটি ব্যাখ্যা করছে যে সেই ফাঁকটি সিস্টেমে কী করে।

EN 1822 এর অধীনে:

H13:99.95% এর চেয়ে বড় বা সমান

H14:99.995% এর চেয়ে বড় বা সমান

U15:99.9995% এর চেয়ে বড় বা সমান

U16:99.99995% এর চেয়ে বড় বা সমান

U17:99.999995% এর চেয়ে বড় বা সমান

তার মানে কULPA বনাম HEPA ফিল্টারসিদ্ধান্ত শুধুমাত্র "পরিষ্কার বায়ু" সম্পর্কে নয়। এটি সাধারণত প্রভাবিত করে:

প্রাথমিক চাপ ড্রপ

ফ্যান নির্বাচন

FFU বা টার্মিনাল মডিউল শক্তি ব্যবহার

প্রতিস্থাপন ব্যবধান অর্থনীতি

ফাঁস-পরীক্ষা এবং যোগ্যতার প্রত্যাশা

কার্যকারিতার সেই শেষ ভগ্নাংশ থেকে প্রক্রিয়াটি সত্যিই উপকৃত হয় কিনা

এই বাণিজ্য-অফ প্রায়ই সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুম পণ্য লাইনে স্পষ্টভাবে প্রদর্শিত হয়। তাদের মাইক্রোইলেক্ট্রনিক প্যানেলগুলি H14 এবং U15-U17 আকারে পাওয়া যায়, নিম্নচাপ হ্রাস, অতি-নিম্ন গ্যাস মুক্তির উপর জোর দেয় এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক ক্লিনরুম এবং সরঞ্জামগুলির জন্য উপযুক্ত। এটি শক্তিশালীভাবে ব্যাখ্যা করে যে একবার আপনি অর্ধপরিবাহী বায়ু পরিস্রাবণের ক্ষেত্রে প্রবেশ করলে, আলোচনাটি আর কেবল কণা পদার্থ অপসারণের বিষয়ে নয়, তবে কণা নিয়ন্ত্রণ, আণবিক-স্তরের পরিচ্ছন্নতা এবং শক্তি খরচের একটি বিস্তৃত বিবেচনা।

এটি দেখার জন্য একটি সাধারণ-ইংরেজি উপায়৷

HEPA প্রায়শই সঠিক উত্তর হয় যখন ঘরটি সংক্রমণ নিয়ন্ত্রণ, পণ্য সুরক্ষা, বা চরম কণা সংবেদনশীলতা ছাড়াই উচ্চ পরিচ্ছন্নতার চারপাশে তৈরি করা হয়।

ULPA হল সঠিক উত্তর যখন প্রক্রিয়াটি ছোট কণার প্রতি সংবেদনশীল, কম ত্রুটি সহনশীলতা এবং অনেক বেশি ক্লিনরুম লক্ষ্যমাত্রা।

সেজন্য "ULPA is better" এর মত একটি কম্বল বক্তব্য কার্যকর নয়। অনেক প্রকল্পে, ULPA তখনই ভালো হয় যদি প্রক্রিয়াটি অতিরিক্ত চাপ হ্রাস এবং ব্যয়কে ন্যায্যতা দিতে পারে।

এখানেই ব্রোশার ভাষার চেয়ে আবেদনের যুক্তি বেশি গুরুত্বপূর্ণ।

অপারেটিং রুম এবং স্বাস্থ্যসেবা স্থান

ASHRAE 170 ন্যূনতম MERV 16-এ অপারেটিং কক্ষগুলির জন্য পরিস্রাবণ বেসলাইন সেট করে এবং এটি নির্দিষ্ট বিশেষত্ব বা ক্ষেত্রে যেমন অর্থোপেডিক পদ্ধতি, ট্রান্সপ্ল্যান্ট, নিউরোসার্জারি এবং উত্সর্গীকৃত বার্ন পদ্ধতিতে এয়ার টার্মিনাল ডিভাইসে HEPA ফিল্টারগুলির জন্য বিশেষভাবে আহ্বান করে৷ অন্য কথায়, স্বাস্থ্যসেবা নির্দেশিকা মান OR ডিজাইনের জন্য ULPA কে ডিফল্ট উত্তর হিসাবে বিবেচনা করে না। এমনকি যেখানে HEPA ব্যবহার করা হয়, লক্ষ্য হল সংক্রমণ-শল্যক্ষেত্রে ঝুঁকি নিয়ন্ত্রণ এবং সুরক্ষিত বায়ুপ্রবাহ, সেমিকন্ডাক্টর-স্তরের ফলন সুরক্ষা নয়।

তাই যখন ক্রেতারা বলে "সার্জারি রুম HEPA ব্যবহার করে" তখন এটি সাধারণত সঠিক দিক। স্বাস্থ্যসেবা পরিস্রাবণ লক্ষ্য উচ্চ, তবে এটি রোগীর নিরাপত্তা এবং পদ্ধতিগত বায়ুপ্রবাহ নকশা দ্বারা চালিত হয়, ওয়েফার প্রক্রিয়াগুলির কণা এবং আণবিক সংবেদনশীলতা দ্বারা নয়।

সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব এবং উন্নত ইলেকট্রনিক্স

সেমিকন্ডাক্টর সুবিধা একটি ভিন্ন জগত. ক্যামফিলের সেমিকন্ডাক্টর নির্দেশিকা বলে যে ফ্যাবগুলি সম্পূর্ণ পরিস্রাবণ এবং AMC-নিয়ন্ত্রণ সমাধানগুলিকে কণার জন্য ISO শ্রেণী 1 স্তরে এবং বায়ুবাহিত আণবিক দূষণের জন্য পিপিবি স্তরগুলিকে আইএসও ক্লাস 1 থেকে কম করতে ব্যবহার করে৷ তাদের ইলেক্ট্রনিক্স-কেন্দ্রিক ক্লিনরুম প্যানেলগুলি HEPA H14 এবং ULPA U15, U16, U17-এ দেওয়া হয়, বিশেষত মাইক্রোইলেক্ট্রনিক শিল্পের জন্য এবং অতি{10}}লো আউটগ্যাসিং উপাদান সহ।

এই কারণেই উন্নত চিপ উৎপাদন প্রায়শই HEPA ছাড়িয়ে এবং ULPA-তে চলে যায়, বিশেষ করে জটিল প্রক্রিয়া অঞ্চলে, টুল মিনি-পরিবেশ, লিথোগ্রাফি এলাকা বা ফ্যাবের অন্যান্য অংশে যেখানে ছোট কণা এবং আণবিক দূষণ সরাসরি ফলনকে আঘাত করে। এটি বলার একটি ব্যবহারিক উপায় হল:

হাসপাতাল রোগী এবং পদ্ধতি রক্ষা করছে

চিপ ফ্যাব একটি অনেক কঠিন ত্রুটি থ্রেশহোল্ডে ফলন রক্ষা করছে

একই শব্দ: পরিষ্কার। খুব ভিন্ন থ্রেশহোল্ড।

এটি এমন একটি বিবরণ যা অনেক অ{0}}ইলেক্ট্রনিক্স ক্রেতারা মিস করেন।

সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমে, ফিল্টারটিকে নিষ্ক্রিয় বাক্স হিসাবে বিবেচনা করা যায় না। যদি মিডিয়া বা উপাদানগুলি অবাঞ্ছিত ডোপ্যান্ট বা আণবিক দূষকগুলিকে বের করে দেয় তবে ফিল্টার নিজেই একটি দূষণের উত্স হয়ে উঠতে পারে।

সিলিকন মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্সের উপর 1991 সালের একটি গবেষণায় দেখা গেছে যে বায়ুবাহিত বোরন দূষণ উচ্চ-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন কণা বায়ু ফিল্টারে বোরোসিলিকেট গ্লাসে সনাক্ত করা হয়েছে। পরে শিল্প প্রতিবেদনে উল্লেখ করা হয়েছে যে প্রথাগত গ্লাস-ফাইবার মিডিয়া সরবরাহকারীরা কম-বোরন পণ্য তৈরি করেছে, এবং সেমিকন্ডাক্টর প্রয়োজনীয়তার প্রতিক্রিয়া হিসাবে এই মিডিয়াগুলি বাজারে গ্রহণযোগ্যতা অর্জন করেছে।

সেই পটভূমি ব্যাখ্যা করে কেন আধুনিক ইলেকট্রনিক্স-গ্রেড ULPA পণ্যগুলি কম-বোরন, ডোপান্ট-মুক্ত, বা অতি-নিম্ন আউটগ্যাসিং নির্মাণের উপর জোর দেয়৷ সাব-14 এনএম সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য একটি বর্তমান কম-বোরন ULPA পণ্য বলে যে কম-বোরন গ্লাস-ফাইবার মিডিয়া ফিল্টার-বাহিত বোরন দূষণ প্রতিরোধ করে, এবং বিশেষভাবে সতর্ক করে যে স্ট্যান্ডার্ড ULPA মিডিয়াতে বোরন উচ্চতায় বায়ুপ্রবাহের কারণ হতে পারে{{11}{3}} ডোপিং ক্যামফিল তার মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স ক্লিনরুম প্যানেলে অতি-লো আউটগ্যাসিং, ডোপ্যান্ট-মুক্ত উপাদানগুলিকে প্রচার করে অন্য কোণ থেকে অনুরূপ বিন্দু তৈরি করে৷

যদি আপনার প্রকল্প থাকে:

• ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশন

লিথোগ্রাফি

•ফটোরেসিস্ট লেপ / এক্সপোজার

•উন্নত প্যাকেজিং

•মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স টুল বা মিনি-পরিবেশ

তারপর কথোপকথন অতিক্রম করা উচিতULPA দক্ষতাএবং অন্তর্ভুক্ত:

•লো-বোরন মিডিয়া

•ডোপান্ট-বিনামূল্যে নির্মাণ

• কম-জৈব আউটগ্যাসিং

• AMC-নিয়ন্ত্রণ কৌশলের সাথে সামঞ্জস্য

অর্ধপরিবাহী বায়ু পরিস্রাবণের জন্য, এটি একটি বিলাসবহুল আইটেম নয়। এটি প্রক্রিয়া সুরক্ষার অংশ।

আমাদের প্রকৌশলীরা সাধারণত অ্যাপ্লিকেশন দিয়ে শুরু করেন, ফিল্টার ক্লাস নয়।

আমরা প্রথমে চারটি প্রশ্ন জিজ্ঞাসা করি:

• রুম বা প্রক্রিয়া জোনের পরিচ্ছন্নতার লক্ষ্য কী?

•প্রক্রিয়াটি কি মূলত বায়োবর্ডেন, কণা বা আণবিক দূষণের জন্য সংবেদনশীল?

• সিস্টেম কি উচ্চ চাপের ড্রপ শোষণ করতে পারে যা সাধারণত শক্ত ফিল্টারগুলির সাথে আসে?

•প্রজেক্টটি কি স্বাস্থ্যসেবা/ফার্মা, নাকি মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স/সেমিকন্ডাক্টরে?

আমরা সম্প্রতি দক্ষিণ-পূর্ব এশিয়ার একজন ক্লায়েন্টকে সাহায্য করেছি যিনি প্রাথমিকভাবে সমগ্র প্রকল্প জুড়ে U15 এর জন্য অনুরোধ করেছিলেন কারণ তাদের দল ধরে নিয়েছিল "উচ্চ গ্রেড মানে নিরাপদ।" এটি প্রমাণিত হয়েছে যে শুধুমাত্র গুরুত্বপূর্ণ মাইক্রোইলেক্ট্রনিক প্রক্রিয়া এলাকায় ULPA প্রয়োজন। সমর্থন এলাকা HEPA-গ্রেড টার্মিনাল পরিস্রাবণে থাকতে পারে। এই পরিবর্তনটি ফ্যানের বোঝা এবং ফিল্টার বাজেট উভয়ই কমিয়ে দেয় প্রকৃত প্রক্রিয়া-ঝুঁকি নিয়ন্ত্রণকে দুর্বল না করে।

এটি সাধারণত সঠিক পদ্ধতি। ULPA ব্যবহার করুন যেখানে এটি একটি বাস্তব সমস্যার সমাধান করে। প্রক্রিয়াটির সত্যিকারের প্রয়োজন না হলে এটি সর্বত্র ছড়িয়ে দেবেন না।

আপনি স্পেসিফিকেশন চূড়ান্ত করার আগে, এই পয়েন্টগুলি যাচাই করুন:

স্ট্যান্ডার্ড: EN 1822 / ISO 29463, সাধারণ-বাতাস চলাচলের মান নয়

ক্লাস: H13, H14, U15, U16, বা U17 প্রক্রিয়ার প্রয়োজনের ভিত্তিতে

দক্ষতার ভিত্তি: MPPS এবং প্রকাশিত অবিচ্ছেদ্য দক্ষতা

প্রাথমিক চাপ ড্রপ: ফ্যান, এফএফইউ, বা টার্মিনাল মডিউলের সাথে মিলে যায়

আবেদন: সার্জারি / স্বাস্থ্যসেবা, ফার্মা, সেমিকন্ডাক্টর, বা টুল পরিবেশ

মিডিয়া ঝুঁকি: স্ট্যান্ডার্ড গ্লাস মিডিয়া, লো-বোরন গ্লাস মিডিয়া, বা ডোপ্যান্ট-ফ্রি মেমব্রেন মিডিয়া

নির্মাণ: কম-আউটগ্যাসিং উপাদান যদি ইলেকট্রনিক্স পরিবেশে ব্যবহার করা হয়

ফাঁস পরীক্ষা: আবেদনের প্রয়োজনে স্বতন্ত্রভাবে স্ক্যান-পরীক্ষা করা হয়েছে